L’effecteur d’extrémité en céramique a une résistance à haute température, une résistance à la corrosion, une résistance à l’usure, une isolation et d’autres propriétés, et il peut fonctionner longtemps à haute température, sous vide et dans des gaz corrosifs. Il est largement utilisé dans divers équipements de production de semi-conducteurs.
L’effecteur d’extrémité en céramique est fabriqué à partir de matières premières céramiques d’alumine de haute pureté et le processus de production comprend le pressage isostatique à froid (CIP), le frittage à haute température et l’usinage de précision. La tolérance dimensionnelle peut atteindre ± 0,001 mm, la finition de surface Ra0,1 et la température de fonctionnement maximale est de 1600 ℃.
L’effecteur d’extrémité en céramique creux collé de haute technologie peut fonctionner à haute température jusqu’à 800 ℃.
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