O Ceramic End Effector tem resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, resistência ao desgaste, isolamento e outras propriedades, e pode funcionar por um longo tempo em alta temperatura, vácuo e gás corrosivo. É amplamente utilizado em vários equipamentos de produção de semicondutores.
O Ceramic End Effector é feito de matérias-primas de cerâmica de alumina de alta pureza e o processo de produção inclui prensagem isostática a frio (CIP), sinterização de alta temperatura e usinagem de precisão. A tolerância dimensional pode chegar a ±0,001 mm, acabamento superficial Ra0,1 e a temperatura máxima de trabalho é de até 1600 ℃.
O efetor final cerâmico oco de alta tecnologia pode trabalhar em alta temperatura de até 800 ℃.
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